Die vorliegende Richtlinie VDI\/VDE 2655 Blatt 1.1 gilt f\u00fcr Interferenzmikroskope zur Messung der Topografie technischer Oberfl\u00e4chen. Die beschriebenen Prozeduren f\u00fcr die Kalibrierung sind vergleichbar zu den Methoden, die sich bereits bei den Richtlinien f\u00fcr die R\u00fcckf\u00fchrung von Tastschnittger\u00e4ten (siehe Bild 1) bew\u00e4hrt haben (DKD-R 4-2; EAL-G20). Entsprechend sind, so weit es m\u00f6glich ist, auch die dort erprobten Normale (Planglas, optisches Gitter, Tiefeneinstellnormal, Raunormal) \u00fcbernommen. Dieses Blatt der Richtlinienreihe beschr\u00e4nkt sich auf die Grundkalibrierung der Interferenzmikroskope. Diese schlie\u00dft die R\u00fcckf\u00fchrung auf die L\u00e4ngeneinheit \u00fcber die Messung an r\u00fcckgef\u00fchrten Tiefeneinstellnormalen ein. Dies entspricht dem rechten vertikalen Pfad in Bild 1. Aus diesen Messprozessen ergibt sich die Herleitung f\u00fcr die Messunsicherheitsberechnung der Ger\u00e4tekalibierung und die der Messung an Tiefeneinstellnormalen. Die entsprechenden Prozeduren f\u00fcr Rauheitskenngr\u00f6\u00dfen werden in Blatt 2.1 beschrieben werden. Mit der Anwendung dieser Richtlinie werden folgende Ziele verfolgt: Bessere Vergleichbarkeit von Oberfl\u00e4chenmessungen mit verschiedenen Mikroskopen sowie zwischen Mikroskopen und Tastschnittger\u00e4ten mit den Normen und Richtlinien sowie Normalen f\u00fcr Tastschnittger\u00e4te Festlegung von Bedingungen f\u00fcr die R\u00fcckf\u00fchrung auf die L\u00e4ngeneinheit entsprechend Bild 1 Feststellung der Kalibrierf\u00e4higkeit und Festlegung des G\u00fcltigkeitsbereiches einer Kalibrierung Festlegung von Mindestanforderungen an den Kalibriervorgang und an Abnahmebedingungen Bereitstellung eines GUM-konformen Modells zur Messunsicherheitsberechnung des Messvorganges mit einem Interferenzmikroskop Festlegung der Anforderungen an einen Ergebnisbericht.*www.vdi.de\/2655<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"
Optische Messtechnik an Mikrotopographien – Kalibrieren von Interferenzmikroskopen und Tiefeneinstellnormalen f\u00fcr die Rauheitsmessung<\/b><\/p>\n\n\n
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